北方华创SaquaTM 单片清洗机进驻中芯北方28纳米生产线

近日,北方华创集团下属全资子公司北京北方华创微泰格娱乐装备有限公司SaquaTM单片清洗机正式进驻中芯北方集成电路制造(北京)有限公司(简称“中芯北方”)28纳米生产线,这是国产半导体设备在集成电路领域取得了又一重大突破。

集成电路铜制程清洗工艺要求在颗粒控制、铜腐蚀率、金属污染控制、交叉污染控制等方面有极高的工艺标准。北方华创自主研发的新一代SaquaTM单片清洗机,是继90纳米、65/55纳米产品后的又一次升级,新设备能完全满足集成电路代工厂28纳米技术代的生产工艺要求。同时,SaquaTM单片清洗机兼具通孔/沟槽刻蚀后清洗、衬垫去除后的清洗等多种工艺,支持多任务并行处理,可最大程度提高产能。

到目前为止,北方华创已经有硅刻蚀机、PVD设备、单片退火设备、氧化炉、退火炉、LPCVD设备及单片清洗机等进入国内主流集成电路生产线,实现稳定量产。北方华创将以此次进驻为契机,进一步跟进客户需求,为客户创造更多价值,实现国产集成电路设备的不断超越。