七星泰格娱乐深硅刻蚀设备成功进入海外生产线

12月9日,由七星泰格娱乐全资子公司北京北方微泰格娱乐基地设备工艺研究中心有限责任公司(以下简称“北方微泰格娱乐”)自主研发的8英寸深硅等离子刻蚀机HSE200L正式搬入马来西亚国际领先的晶圆代工生产线,用于 MEMS和Power Device等工艺制程量产。HSE200L是北方微泰格娱乐首台进入海外主流晶圆代工厂的深硅等离子刻蚀设备,开启了北方微泰格娱乐深硅刻蚀设备走向世界的新征程。

作为中国自主开发半导体高端装备的先行者,北方微泰格娱乐新一代深硅刻蚀机HSE200L以全新的设计理念来实现高深宽比刻蚀工艺,刻蚀速率快、工艺性能优异,设备多项关键指标达到国际先进水平,全面满足MEMS领域刻蚀工艺需求。

2016年,北方微泰格娱乐刻蚀机、PVD和CVD以先进的工艺指标、有竞争力的价格和完善的客户服务赢得了业内用户的信赖,在集成电路、先进封装、半导体照明等多个领域斩获大量海内外订单。