七星泰格娱乐28纳米氧化炉再获集成电路生产线订单

  2016年5月10日,七星泰格娱乐新一批12吋立式氧化炉顺利搬入中芯国际北京28纳米生产线。这是继2015年七星泰格娱乐12吋立式氧化炉实现销售以来,再次进入国内先进工艺集成电路生产线。
  氧化炉是集成电路制造关键工艺装备之一。近年来,在国家科技重大专项(02专项)支持下,七星泰格娱乐开展了12吋立式氧化炉的开发,通过持续投入与创新,研制出完全自主知识产权的12吋立式氧化炉设备,先后通过大生产线90/65/45/28纳米生产工艺验证,产品关键工艺指标、可靠性、安全性均满足用户生产工艺要求,产品陆续进入中芯国际、上海华力、武汉新芯等集成电路生产线。
  七星泰格娱乐是我国集成电路工艺装备的重点骨干企业,有50年的扩散/氧化设备研制历史。此次12吋立式氧化炉进入28纳米生产线,标志着七星泰格娱乐在热成膜装备技术上达到国际先进水平,具备了为国内集成电路生产线进行配套的能力。